半導体製造プロセスで使用される【石英ガラス槽】です。
石英ガラス槽は、他の材質と比較して、金属汚染や有機汚染、パーティクルの発生が極めて少なく、また複雑な構造にも研削、溶接加工にて対応できます。
半導体製造装置には、透過性、耐薬品性、耐熱性、高純度性に優れた石英ガラス槽が必要不可欠なものとなっております。

半導体装置向けの【横型石英ボート】です。
半導体製造プロセスの拡散CVD、洗浄、エッチングに至るまであらゆる反応プロセスに対応しております。縦型・横型の各種形状が製作可能です。
その他、拡散用各種炉芯管をはじめ、様々な機器、治具に対応する半導体製造工程に必要なあらゆる石英ガラス製品をラインナップしております。